常用的等离子体激发频率有3种：激发频率为40kHz的等离子体为中频等离子体，附着力检测仪怎么用的13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。不同的等离子体产生的自偏压是不同的。中频等离子体的自偏压约为0V，射频等离子体的自偏压约为250V，微波等离子体的自偏压非
