还应根据实际情况设计定制的真空等离子清洗设备。腔体积越大，附着力试验机生产射频功率越高。因此，如果等离子发生器仅使用13.56MHZ射频电源，腔容量一般可以控制在600L以内，以保证均匀性。如果您需要使用3000W以上的功率，我们推荐使用美国AE、MKS或其他进口射频电源。虽然成本较高，但设备运行稳
