用等离子体清洗/蚀刻器对多晶硅片进行了良好的蚀刻。通过配置刻蚀组件，达因值36等离子清洗机可以实现刻蚀功能，性价比高，操作简单，从而实现多功能。等离子清洗机的特点是使用低温等离子体处理材料的等离子体表面处理设备,一般等离子体处理后,材料的表面张力将改变,润湿性和亲水性,达因值变化,适合达因笔测试的材
