在等离子清洗过程中，表面活化处理什么意思除等离子化学反应外，等离子还与材料表面发生物理反应。等离子体粒子敲除材料表面上的原子或附着在材料表面上的原子。这有利于清洁和蚀刻反应。图4显示了有和没有等离子清洗的嵌入孔（孔径：0.15MM）的电镀金属的横截面图。随着材料和技术的发展，嵌入式盲孔结构的实现越来
