之后经氩离子清洗机处理后的表面张力将显著提高。活性气体产生的等离子体也能增加表面粗糙度，表面改性技术的本质但氩离子电离产生的粒子相对较重，在电场作用下氩离子的动能明显高于活性气体，其粗化效应更加显著。Z广泛应用于无机基材的表面粗化过程。如玻璃基板表面处理、金属基板表面处理等。③主动气体辅助在等离子清
