等离子体是物质的状态，三束表面改性定义也称为第四态。向气体中添加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体活性材料包括离子、电子、活性自由基、核素激发态（亚稳态）和光子。等离子清洁剂在清洁聚合物方面起着非常重要的作用。 1、聚合物表面重组：等离子刻蚀机清洗过程中使用的惰性气体破坏了聚合物表面的离子
