如果再向气体提供更多能量，表面改性和表面涂覆的异同气体将发生电离，并进入高能的等离子状态，这就是物质的第四种状态。等离子表面处理机由IrvingLangmuir在1928年首次发现。等离子并不鲜见：实际上，它相当常见。宇宙中99%以上的可见物质处于等离子体状态。在地球上能够观察到的等离子的自然形式是
