(2)气体种类:被处理对象的基材和表面污染物种类繁多，增加附着力的单体不同气体放电所引起的等离子体清洗速度和清洗效果有很大差异。因此，等离子体操作气体要有针对性，如氧等离子体可用来去除物体表面的油污和污垢，氢氩混合气体等离子体可用来去除氧化层。放电功率的增加可以增加等离子体的密度和活性粒子的能量，从
