就反应机理来看，表面活性剂活化钠等离子体清洗通常包括以下过程∶无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面﹔被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相﹔反应残余物脱离表面。 等离子表面处理技术的特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子
