超声波等离子体清洗对被清洗表面有很大的影响，美缝剂附着力什么意思因此射频等离子体清洗和微波等离子体清洗在半导体生产和应用中多使用。超声波等离子体具有良好的表面脱胶和毛刺磨削效果。典型的等离子体物理清洗过程是用反应室中的氩气作为辅助处理进行等离子体清洗。氩本身是惰性气体，不与表面发生反应，而是通过离子
