电晕等离子体处理器可以通过紫外线、电磁场激发、高温加热和 X 射线照射来产生，等离子模块是什么其中使用电磁场激发方法，这是一种相对简单的操纵气体发射的方法。在实验室研究和工业生产中。请大量使用。电弧放电是各种气体放电产生的等离子体之一，电晕放电产生的低温等离子体很难产生足够的活性粒子。 DC辉光放电
