冷等离子体装置 [5] 将两个电极设置在一个封闭的容器中。真空泵达到一定的真空度。随着气体变稀薄，等离子体处理设备分子之间的距离以及分子和离子的自由运动距离增加。由于电场的作用，它们碰撞形成等离子体，从而发出辉光，称为辉光放电过程。辉光放电时的气压对材料加工效果影响很大，还与放电功率等因素有关。气体
