材料表面的离子能是材料表面改性的主要技术参数。这种能量可以很容易地增加到小分子和固体原子结合能的数千倍。正是这种低温等离子体的非热力学平衡现象导致了等离子体处理技术的多样性，第五章固体表面的改性这种多样性可以从聚合物材料的表面活化到半导体离子注入等一系列应用中看到。等离子体处理技术应用于许多制造领域
