等离子体低温等离子体过程中还可产生大量活性粒子，亲水性有机硅类比其反应种类比一般化学反应更多，活性更强，与材料表面接触时反应更简单。与传统物理和化学方法相比，等离子体表面处理成本低、无浪费、对环境无污染，低温等离子体材料的表面改性非常适用。此外，低温等离子体还可用于制备用于杀菌等领域的有机和无机纳米
