它带有负电荷，硅胶等离子表面处理机有助于触发进一步的活化反应。在正常情况下，等离子体中的自由基数量大于电中性离子的数量，具有较长的寿命，具有较大的能量比。在清洗过程中，表面污染物分子很容易与高能自由基结合产生新的自由基。这些新的自由基也生活在高能状态，极不稳定，极易分解，变化如下。新的自由基与较小的
