本发明将电路板置于真空反应系统中，硅片亲水性测试流程通入少量氧气，施加高频高压，通过高频信号发生器产生高频信号，产生强信号.在石英管中形成电磁场以电离氧气。氧离子、氧原子、氧分子、电子等的混合物形成辉光柱。活性原子氧能迅速将残留胶体氧化成挥发性气体，可挥发除去。随着最新半导体技术的发展，对蚀刻加工的
