在均匀电晕中，电晕机陶瓷国内代理离子和电子电流在一个射频周期内部分平衡，栅氧化电位很小。但在非均匀电晕中，局域电位不平衡会在晶圆表面产生电流路径，造成栅氧化层损伤。（3）电子遮蔽效应（电极遮蔽效应）。电晕中的电子比离子的方向性小也就是说，电子的入射角分布比离子的入射角分布大，更容易被光刻胶屏蔽，正离
