辉光放电是化学等离子体实验的重要工具，电是等离子体吗但由于气体压力低的限制，工业应用的连续生产困难，应用成本高，不能广泛用于工业生产。目前的应用范围仅限于实验室、照明产品和半导体行业。小型等离子清洗蚀刻机的等离子发生器在密闭容器中设置两个电极，闪电是等离子体发光吗形成电场，实现一定的真空度。随着气体
