还有许多特殊的混合气体，亲水性和普通材料如四氟化碳（CF4）和六氟化硫（SF6），蚀刻和去除有机化合物的效果变得更加重要。然而，使用这种气体混合物的前提是需要特定的防腐气体供应和内腔结构。此外，工作前应佩戴防护罩和橡胶手套。我想在最后说一种常见的混合气体是氮气 (N2)。这种混合气体主要是基于使用在
