同时，涂料附着力促进剂用量降低的功率也降低了大气等离子体清洁器等离子体对光刻的影响。粘合剂降低了等离子体中的[C]含量，从另一个角度减少了聚合物的产生量。此外，蚀刻工艺时间越短，整体聚合物的用量，从而改善条纹现象。除此之外，还有导致条纹现象的机制。通孔的主要蚀刻步骤通常使用高源功率和高偏置功率来蚀刻
