传统的等离子清洗设备在真空室中安装一对扁平放电电极或数千个放电电极。这些装置的致命缺点不仅是放电清洗很不均匀，涂层附着力画圈法而且会产生有害的放电，容易被污染或损坏。基质。 ..此外，辉光放电也很不稳定，特别是当基板移动时，等离子体。体阻抗通常波动很大，因此很难将这些设备应用于连续的涂层线。它为气体
