其中SC主要用于去除颗粒污染（颗粒），油漆附着力拉拔试验视频也可去除部分金属杂质。其原理是硅片表面被H202氧化形成氧化膜（约6nm，亲水），再用NH40H腐蚀。腐败后直接产生氧气，氧化腐败反复发生，随着腐败层的侵蚀也产生附着在硅片表面的颗粒。自然氧化膜厚度约为0.6nm，与NH40H、H202浓度
