由于干膜贴膜与其他的工序相比线速度大,所以不少厂都不用自动化贴膜,而是采用手工贴膜。贴好干膜之后,为了使其稳定,应放置 1 5～20min 之后再进行曝光。线路图形线宽如果在 30μm 以下,用干膜形成图形,合格率会明显下降。批量生产时一般都不使用干膜,而使用液态光致抗蚀剂。四、光刻胶的除掉： pl
