氩等离子清洗后，氩气等离子体蚀刻机器可以改变材料表面的微观形貌，提高表面活性和粘合性能，同时不会形成氧化物，对提高键合工艺的可靠性非常有用。为了。 3、物理化学清洗物理化学清洗是利用化学清洗和物理清洗的混合气体同时运行等离子清洗工艺。在清洗过程中，化学和物理反应并存，通常比物理清洗或单独的化学清洗要
