大气电晕引入气体的主要目的是活化和增强穿透性。真空电晕引入气体的目的是增强蚀刻效果，薄膜电晕处理机有都没去除污染物，去除有机物，增强穿透性。显然，气体的选择范围更广，真空电晕的工艺将得到更广泛的应用。三、离子产生条件可以直观地看出，常压电晕依赖于接入气体，气体压力要达到0.2mpa左右才能产生离子。
