由于这些气体长期存在于大气中，怎么活化二氧化硅表面羟基会大大助长全球变暖，且其热量比二氧化碳高出4个数量级，环保组织从1994年开始研发减少这些气体排放的技术。氮对温室效应的影响很小，可以替代上述含F气体。半导体行业的另一个生产步骤是使用等离子清洁剂来清洁硅胶片上组件表面上由光敏有机材料制成的光刻胶
