玻璃基板在等离子体中时，微波等离子清洗硅片等离子体中的带电粒子（电子）与表面发生碰撞，使基板表面吸附的环境气体、水蒸气、污垢等首先发生碰撞，对表面进行清洗活化. 表面能增加，膜的原子或分子在沉积过程中更好地润湿基板，范德华力增加。二、玻璃基板表面受到带电粒子（电）的影响，从微观上看，基板表面形成了许
