与等离子蚀刻相比，平板显示器等离子体刻蚀设备湿法蚀刻是一种常用的化学清洗方法。其主要目的是将硅片表面的掩模图案正确复制到涂有粘合剂的硅片上，从而保护硅的特殊区域。晶圆。自半导体制造开始以来，硅片制造和湿法蚀刻系统一直密切相关。目前的湿法刻蚀系统主要用于残渣去除、浮硅、大图案刻蚀等，具有设备简单、材料
