等离子体清洗的原理与超声波清洗的原理不同。当舱室接近真空状态时，大型超声波清洗设备打开射频电源，气体分子电离产生等离子体，并伴有辉光放电现象。等离子体在电场作用下加速，从而在电场作用下高速运动，导致物体表面发生物理碰撞。等离子体的能量足以去除各种污染物，而氧离子则能将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气
