因此，安徽射频等离子清洗机特点在器件制造过程中，需要控制边缘区域，去除这些堆积在晶圆边缘的薄膜可以减少制造过程中的缺陷并降低良率。有三种主要方法可以清洁晶圆的外边缘和斜面。 (1) 化学机械抛光过程中添加的外边缘和斜面； (2) 湿法蚀刻和清洗； (3) 等离子边缘蚀刻。等离子边缘蚀刻具有精确控制边
