同时通过真空泵将污染物抽走，塑料表面电晕处理工艺清洁程度可达分子级。就反应机理而言，电晕清洗通常包括以下过程：无机气体被激发成电晕态；气相物质吸附在固体表面；吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；产物分子分解形成气相；反应残留物从表面除去。典型的电晕化学清洗工艺是氧电晕清洗。电晕清洗的机理主要依靠
