与此同时，嘉兴等离子处理器工艺等离子体表面处理机还能够采用颠倒o2和氩氢气体的清洗顺序，以实现全面清洗的目地。二、 低温等离子设备Ar 物理上的跃迁是氩气清洗的原理。氩气是有效的物理上的等离子体清洗气体,根本原因在于它原子的尺寸大。可以用极大的能量跃迁样品表面。正的氩离子将被吸引到负向电极板。冲击力
