传统的工艺气体控制是使用真空电磁阀是因为阀门必须满足真空密封的高要求。由于工艺气体是单向控制的，亲水性通过什么表征所以选用的真空电磁阀为二位双向型。 （2）气动球阀 气动球阀具有高真空密封、耐腐蚀、口径大等特点，因此在空气等离子清洗需要转移到特殊单体时用于空气控制。根据您的实际使用需求选择双向或三向
