SU-8光刻胶是一种可制备成厚膜（0.5-200um厚度）的环氧树脂光阻剂，其组成成分有：1）粘合剂，使光刻胶具有良好的机械性能与粘附性、热稳定性；2）感光剂，能与光发生光化学反应；3）溶剂，使光刻胶保持液体状态；4）添加剂，使光刻胶的某些特性被改变。SU-8光刻胶被广泛应用于微流体器件、微光学器件
