, 金属、半导体、氧化物或聚合物材料（聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂、其他聚合物等）可以使用等离子体进行处理。因此，半导体刻蚀设备它特别适用于不耐热和不耐溶剂的材料。此外，您可以选择性地清洁材料的整体、部分或复杂结构。 9、清洗和去污可同时进行，提高材料本身的表面性能。它对于
