同样，医用硅胶表面改性的展望射频溅射也会轰击金属颗粒，被轰击的金属颗粒可能会附着在产品表面，造成污染，进而影响产品，如医用聚合物表面的金属原子，会给人体带来安全隐患;半导体引线框架的质量会受到金属注射的影响。因此，为了减少甚至避免射频溅射现象，有必要对真空等离子处理器的腔体结构、极板的冷却、工艺参数
