设定功率可以降低离子的冲击能量，刻蚀机概念股的龙头股高源功率增加大气等离子清洗机的等离子密度，所以离子本身两次碰撞的速率增加，等离子体的方向减弱，等离子体的物理冲击作用也减弱。同时，它被高源功率[C]进一步分解，产生和积累更多的聚合物。在光刻胶表面上，光刻胶受到保护免受等离子体冲击。因此，较低的偏置
