为此，光刻机和蚀刻机有啥区别介绍了一种等离子清洗机刻蚀后处理技术：在GST刻蚀完成并去除光刻胶后，以含氟气体为刻蚀剂的短步骤（CF_4、SF_6、NF_3等），并利用含氟气体活化GST蚀刻副产物，可明显提高湿法清洗效果。。等离子清洗机真空室是维持真空泵内部状态的容器，真室的质量是等离子清洗机质量特性
