处于等离子体状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，什么是高能束表面改性但物质作为一个整体保持电中性。在真空室内通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，利用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗的目的。等离子体清
