在等离子去钻污时，亲水性跟极性的关系面板放置在真空箱内，然后引入气体并通过电源转换成等离子，等离子在面板表面反应，挥发性的树脂钻污物被真空泵移除。 关于等离子表面处理设备去钻污的研究很多。科员人员研究了等离子机腔体的蚀刻速率分布及蚀刻速率随时间的变化关系，确定了刚挠结合板中聚酰亚胺、丙烯酸胶和环氧
