等离子清洗分类化学反应为主的清洗表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，亲水性疏水性的分类习惯上称等离子清洗PE，许多气体的等离子态可产生高活性的粒子。从化学反应式可知，典型的PE工艺是氧气或氢气等离子体工艺，用氧等离子通过化学反应，能够使非挥发性有机物变成易挥发性的CO2和水汽，去除沾污物，使表面清
