等离子体处理设备在包装过程中的使用微电子工业中的清洗是一个广泛的概念，亲水性物质的概念包括任何与去除污染物相关的过程。通常是指在不破坏数据外部和电气特性的前提下，有效根除数据上遗留的灰尘、金属离子和有机杂质。现在广泛使用的物理和化学清洗方法大致可分为两大类：湿式清洗和干洗。湿式清洗目前在微电子清洗工
