SIO2 + [O + OF + CF3 + CO + F +…] SIF4 + CO2 + CAL 至此,亲水性材料都有实现了刚挠结合板的等离子处理,可以去除上面的杂质。原子O和CH发生羰基化反应,C=C,在聚合物的键上加一个极性基团,提高聚合物表面的亲水性。用O2+CF4电晕等离子处理器清洗刚挠