真空等离子清洗的基本过程是真空→引入清洗气体（氦气、氩气等）→施加高频电压，云南等离子除胶处理机操作辉光放电产生等离子体→清洗。这种清洗方式一般适用于批处理。通过将工件放入箱内，抽空箱内，充入惰性气体，然后放电，产生比较纯的等离子体，将整体包裹起来。工件表面的优点之一是不需要整个工件的位置和位置精度
