GHZ）是化学反应，二氧化硅刻蚀速度高频等离子体（激发频率，13.56MHZ）包括物理化学双反应类型。 (2)工作气体的种类也影响等离子清洗的种类。例如，AR2、N2等形成的等离子体常用来进行物理清洗，通过冲击来清洗产品表面。形成等离子体。常用的反应气体如 O2 和 H2。化学清洗、活性自由基和污染
