（1）在晶圆制造中的应用在晶圆制造中，丹阳电晕处理机批发光刻用四氟化碳气体蚀刻硅片，电晕用四氟化碳去除氮化硅蚀刻和光刻胶。电晕可以在晶圆制造中用纯四氟化碳气体或氮化硅中的四氟化碳和氧气去除微米光刻胶。(2)PCB制造应用电晕蚀刻尤其早于电路板制造行业，在硬质电路板和柔性电路板的生产过程中，传统的工艺
