还有许多难以去除的氧化物可以用氢气 (H2) 清洗。但是，上海高附着力树脂报价多少只有在真空条件下具有出色的密封性能才能使用。还有许多独特的蒸气，例如（CF4）和（SF6）。蚀刻去除有机物的（效果）更加显着。但使用该类气体的前提是具有较强的耐腐蚀气路和中空结构，并佩戴防护套和手套。第六种常见气体是氮
