在DD蚀刻中，上坡附着力沟槽蚀刻工艺和沟槽蚀刻前通孔内有机栓塞的高度决定了通孔形貌，而通孔形貌应与金属势垒沉积工艺的均匀性相兼容，从而使金属阻挡层均匀覆盖在整个晶圆的斜面上。在工艺开发的后期，当凹槽蚀刻工艺固定时，只能改变调整栓塞高度的步骤。使用统一的固体在实验设计中，通过少量实验找到了合适的工艺流
