选择40 khz超声波等离子体再加入适当的反应气体可有效去除胶渣、金属毛刺等。由于40KHz是较早的技术，yamato除胶机器射频匹配后能耗过大，实际应用于清洗材料的能量不足原能量的1/3。因此，大部分的实践都采用13.56MHz的射频等离子清洗，这个频率是目前世界上最流行的。2.45g微波等离子体
