等离子处理设备主要是物理反应，yamato等离子蚀刻机器也称为溅射蚀刻（SPE）或离子铣削（IM）。其优点是不发生化学反应，等离子处理设备的去污表面无其他氧化性物质残留，可保持精炼材料的化学纯度，腐蚀作用各向异性。各种物质选择性低，选择性低。腐蚀率。化学等离子净化法具有净化率高、选择性高、能去除有机
